压电多维度扫描台是一种基于压电陶瓷驱动的高精度定位设备，主要利用压电陶瓷的逆压电效应来实现精密位移。当在压电陶瓷上施加电压时，陶瓷会沿特定方向发生微小的伸缩变形，通过准确控制电压的大小和变化，就能实现纳米级别的位移控制，从而驱动扫描台进行多维度的精密移动。
压电多维度扫描台的结构特点：
-柔性铰链设计：通常采用柔性铰链结构连接各个运动部件。这种设计无机械摩擦、磨损，运动平滑，能保证较高的运动分辨率和定位精度，且具有较好的动态响应特性，可快速实现扫描动作。
-紧凑集成：其结构相对紧凑，内部可集成高精度传感器，如电容位置传感器等，能够实时监测和反馈扫描台的位置信息，形成闭环控制系统，进一步提高定位精度和重复性。
-多维度运动能力：具备多个自由度的运动能力，常见的有XYZ三轴运动形式，可满足在不同平面和空间内的准确扫描需求。部分产品还支持线性运动与俯仰运动等多种运动方式的组合，以适应更复杂的应用场景。
压电多维度扫描台的性能优势：
-高分辨率：能够实现亚纳米级别的定位精度，可满足对微观结构和微小物体进行高精度观察、测量和操作的需求。
-高速度：具有较高的扫描速度，能够在较短时间内完成大面积或多维度的扫描任务，提高工作效率。
-高负载能力：一些型号的扫描台具备一定的负载能力，可搭载小型零部件、样品或实验装置等进行扫描操作，适用于多种不同的应用场景。
-稳定性好：由于采用了高精度的压电陶瓷驱动和稳定的机械结构设计，以及闭环控制系统的反馈调节，使得扫描台在工作过程中具有较好的稳定性和重复性，能够长时间保持稳定的性能表现。
